MEMS代表微機電系統。這些是一組設備，這些設備的特性可以通過其微小的尺寸和設計模式來實現。這些傳感器的設計可以使用1-100微米的組件來完成。在集成微電子設備的控制下，這些設備可以從小型結構到非常困難的機電系統，其移動部件很多，而移動部件可能有所不同。通常，這些傳感器在一個封裝中包括機械微致動器，微結構，微電子學和微傳感器。本文討論什么是MEMS傳感器，其工作原理，優點及其應用
一、什么是MEMS傳感器？
MEMS傳感器是一種低成本，高精度的慣性傳感器，可用于多種工業應用。該傳感器使用一種稱為微機電系統的基于芯片的技術。這些傳感器用于檢測和測量外部刺激（例如壓力），之后它會通過一些機械作用對壓力做出響應，該壓力就是測得的壓力。最好的例子主要涉及電動機的旋轉以補償壓力變化。
MEMS IC的制造可以用硅來完成，然后以其他方式放置少量的材料層并將其固定在Si襯底上。然后，將其選擇性地固定，從而留下微小的3D結構，例如膜片，橫梁，杠桿，彈簧和齒輪。
MEMS制造需要許多技術，這些技術用于構造其他半導體電路，例如氧化工藝，擴散工藝，離子注入工藝，低壓化學氣相沉積工藝，濺射等。此外，這些傳感器還使用諸如微機械加工的特定工藝。
二、MEMS傳感器的工作原理
每當向MEMS傳感器施加傾斜時，平衡質量就會產生電位差?？梢韵駵y量電容變化一樣進行測量。然后可以更改此信號以創建穩定的數字，4-20mA或VDC輸出信號。這些傳感器是不需要最高精度的應用的理想解決方案，例如工業自動化，位置控制，側傾和俯仰測量以及平臺調平。
三、MEMS傳感器的類型
1.市場上常見的MEMS傳感器類型為：
2.MEMS加速度計
3.MEMS陀螺儀
4.MEMS壓力傳感器
5.MEMS磁場傳感器
四、MEMS傳感器的優點
1.MEMS的制造就像低成本大規模生產一樣，是半導體IC的制造，并且一致性對于MEMS器件也必不可少。
2.傳感器子組件的尺寸將在1到100微米的范圍內，而MEMS設備的尺寸將在20微米到毫米的范圍內。
3.功耗非常低。
4.易于集成到系統中或進行更改
5.熱常數小
6.這些可能會強烈抵抗沖擊，輻射和振動。
7.更好的熱顯影耐受性
8.并行性
五、MEMS傳感器的應用
MEMS傳感器用于不同領域，包括汽車，消費，工業，軍事，生物技術，太空探索和商業用途，包括噴墨打印機，現代汽車中的加速度計，消費電子產品，個人計算機等。
MEMS設備的最佳示例主要包括自適應光學器件，光學交叉連接，安全氣囊加速度計，電視和顯示器的反射鏡陣列，可操縱的微鏡，RF MEMS設備，不可重復使用的醫療設備等。
因此，所有這些都與MEMS傳感器有關。這些傳感器的主要缺點是每個零件的制造成本都非常低。但是，在設計，制造和成功開發基于MEMS的產品時將有一筆巨大的投資。因此，設計人員不太可能擴展小批量應用中使用的組件。
