氣體流量傳感器的核心是加熱器和溫度傳感器，可以根據氣體流動時相應的熱傳遞檢測氣體流動的速度和方向，對通過芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏快速的響應。根據工作原理，氣體流量傳感器可分為應變、壓電、壓阻、電感、電容、光電、電阻、電容、電感、電壓、霍爾、光電、光柵、熱電偶等氣體流量傳感器。
MEMS氣體質量流量計產品原理，采用具有自主知識產權的MEMS芯片作為傳感器核心部件，當沒有氣體介質流過傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩定的溫度場（溫度分布）,當氣體介質流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質的質量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質質量流量.
氣體流量傳感器的使用功能
氣體流量傳感器具有顯示功能：能同時顯示累積流量、瞬時流量、壓力和溫度。2、氣體流量傳感器具有通訊功能： 可以與分站的智能口進行RS485通訊，并能同時輸出累積流量、瞬時流量、壓力和溫度。
氣體流量傳感器是質量流還是體積流的呢？
其實，要看什么樣的流量計，差壓式流量計通過積算儀可以顯示體積和質量，本身直接測量出來的是體積量，在計算儀內輸入該狀態下的密度換算出質量，像渦街也是直接測量出的是體積量，渦輪流量計和羅茨流量計超聲流量計，都是體積量，科里奧利質量流量計為質量流量
