擴散硅壓力傳感器的內部結構組成原理圖

擴散硅壓力傳感器是制造壓力傳感器和變送器的核心部件。以南京沃天擴散硅壓力芯為例，說一下擴散硅壓力傳感器的內部結構。

擴散硅壓力傳感器由補償板、鋼球、底座、O型圈、芯片、陶瓷墊、膜片、壓力環、硅油等組成。在圖中的結構中，每個部分都有相應的作用和特點：

擴散硅壓力傳感器的內部結構組成部分：

1.補償板：信號放大

2.鋼球：密封油

3.底座：壓力傳感器的載體

4.O型圈：密封

5.芯片：感到壓力

6.陶瓷墊：填充

7.隔膜：接觸液體或氣體進行測量

8.壓環：將膜片焊接到底座上

9.硅油：傳導壓力