硅膜片是半導體壓力傳感器的核心元件，通常由單晶硅材料制成，具有極薄的厚度和極高的彈性。它的結構通常包括一個中心敏感區域和若干個邊緣支撐結構，形狀可以是圓形、方形或其他不規則形狀。
一、硅膜片的主要特性：
?。?）高靈敏度：硅膜片能夠對外界壓力變化做出快速而準確的響應，即使是微小的壓力變化也能引起其電阻值的顯著變化。
?。?）良好的線性度：在一定壓力范圍內，硅膜片的電阻變化與所受壓力之間存在良好的線性關系，這使得測量結果更加準確可靠。
?。?）優秀的穩定性：經過精密加工和嚴格測試的硅膜片，具有出色的長期穩定性和抗疲勞性能，能夠在惡劣環境下長時間穩定工作。
?。?）易于集成：硅膜片體積小、重量輕，易于與其他半導體器件集成，實現傳感器的小型化和微型化。
二、硅膜片的應用：
在半導體壓力傳感器中，硅膜片作為感知元件，負責將外界壓力轉換為電信號。當外界壓力作用于硅膜片時，其內部應力分布發生變化，導致電阻值發生改變。通過測量這一電阻變化，就可以得到壓力值。硅膜片還可以與其他敏感元件如溫度傳感器、濕度傳感器等結合，構成多功能復合傳感器，實現更復雜的測量和控制任務。
